硅片清洗机

硅片清洗机产品介绍：

　　 硅片清洗加工设备，可广泛用于IC生产和半导体元器件生产中晶片的湿法化学工艺。

型号：HCDX--XXX---XX系列，品牌：海春达信。

该设备可有效去除硅片表面的有机物.颗粒.金属杂质.自然氧化层及石英.塑料等附件器皿的污染物，且不破坏晶片表面特性。可用于扩散前..光刻后.CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如：RCA清洗.SPM清洗.SC清洗.等。供应全自动硅片清洗机和手动硅片清洗机，半手动硅片清洗机等