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空调和回风系统，此型式优点在于弹性隔间容易、建造成本低，使人与设备、产品有效隔离，如此做法可使人为的干扰及污染降至最低程度，并直接可提升产品良率。
洁净棚是一种投资少而净化级别高，移动比较方便的简易净化装置。将洁净层流罩FFU放置在由专业净化铝型材组装而成的框架上。顶部由盲板铺盖，密缝严密，四周用防静电帘/防静电有机玻璃围缝使棚区内洁净度达到100-10000级。
主要特点：
1、模块化、组装式结构设计，施工简便可大大缩短现场施工时间；
2、成本低，移动方便。
3，适用于建局部洁净区域洁净度的提高。
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