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测量前，首先确保待测表面干净无污染。
一、表面阻抗：(Surface Resistivity)
1、平行探头阻抗测量法(Parallel Probe Resistivity Method)
平行探头阻抗测量法是符合EOS/ESD－S11.11－1993标准的测量方法，这是一种快速的测量平面均匀材料电阻值的方法。这种方法也适合于多层材料的测量，但是在阻抗值报告中必须注明测量时的温度和湿度条件。
A、将表放在待测量的物体表面。
B、将开关调到所需的电压位置(10伏或100伏)
C、以大约5磅的压力持续按下测量按钮，此时LCD屏会显示出测量的表面阻抗，温度和相对湿度值，整个测量过程大约为十五秒种。
•表面阻抗单位为欧姆/□
•温度单位为摄式
•相对湿度单位为百分比
在每次测量中，按下测量按钮后，ACL-800表将连续显示修整测量值，松开按钮后约四十五秒内，显示的是最后一个测量值。
2、同心环探头阻抗测量法（Concentric Ring Probe Resistivity method）
（同心环探头为选购件）
将连线插头插入表的两个3.5毫米插孔，并将香蕉插头与同心环探头 (选购件)相联。将探头放在待测试物体表面后，按下按钮约15秒钟后，在液晶显示屏上将显示出正确的温度和相对湿度，正确的表面阻抗值为液晶显示屏上的读数乘以10，单位为欧姆/□。
例如：
晶屏上显示为3.5×104欧姆/□；实际阻抗值为3.5×105欧姆/□。
二、表面电阻测量（点对点） (Surface Resistance Measurement （RTT）)
这个测量方法是符合EOS/ESD-S4.1测量要求来测量独立于接地的两点之间的电阻，用这个测量方法得出的测量结果与被测物体的处理、两个5磅探头之间的距离等因素有关，因此，应选择正确的测量规程，每次在同样要求的测量条件下进行测试。
A、将连线插头插入表的两个3.5毫米插孔，并将香蕉插头与两个5磅重探头相联。
B、按照测量规程将两个探头放置在待测物体表面。
C、选择所需的电压值(10伏或100伏)
D、按下开关直到显示出所选的电压值(10伏或100伏)，继续按着开关直至所测电阻（单位为欧姆），相对湿度和温度显示在液晶显示屏上。
