日本山武数字气体质量流量控制器CMQ

型号 日本山武（YAMATAKE） 日本山武数字气体质量流量控制器CMQ

数量 大量库存

产品描述 CMQ9200/9500/0002/0005/0020/0050/0050JK/0200JK/0500JK等CMQ系列是高性能型数字式气体质量流量控制器，使用山武公司独有的感热式微流量传感器和高精度的比例阀，具有响应快、精度高、控制范围宽等特点，能满足多种工业控制要求。

基本系列 CMQ9200 CMQ9500 CMQ0002 CMQ0005 CMQ0020 CMQ0050 CMQ0050J/K CMQ0200J/K CMQ0500J/K

流量范围 200mL/min 0.500L/min 2.00L/min 5.00L/min 20.0L/min 50.0L/min 50.0L/min 200L/min 500L/min

适用气体 氮气、空气、氧气、氩气、二氧化碳、城市煤气13A（LNG）、甲烷100%、丙烷100%、丁烷100%

控制范围 1--100%FS

响应速度 0.5秒达到设定值±2%FS 1秒达到设定值±2%FS

阀门输出更新周期 10ms

精度 ±1%FS ±2%FS ±1%FS ±2%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS

标准差压 98KPa 9.8KPa 98KPa 9.8KPa 98KPa 196KPa 19.6KPa 196KPa 196KPa

操作差压范围 0.98--294K