采用三套独立的电脑控制机械臂自动化作业
■ 采用第三代最新技术,全面完善的防酸防腐措施,保护到机器每一个角落
■ 最新全自动补液技术
■ 独特的硅片干燥前处理技术,保证硅片干燥不留任何水痕
■ 成熟的硅片干燥工艺,多种先进技术集于一身
■ 彩色大屏幕人机界面操作,方便参数设置及多工艺方式转换
清洗工艺:上料→碱腐蚀→纯水漂洗→酸碱腐蚀→纯水漂洗→喷淋漂洗→酸中和→纯水漂洗→碱中和→纯水漂洗→烘干→下料
清洗工件:各种规格的单晶硅、多晶硅太阳能电池硅片的制绒清洗
清洗溶剂:水基清洗剂