真空镀膜电源

真空镀膜电源

成都市新都道和电工研究所研发的DHEP系列逆变偏压电源主要用于多弧离子镀膜、磁过滤电弧离子镀膜、直流磁控溅射镀膜、非平衡磁控溅射镀膜和孪生靶中频磁控溅射镀膜、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等。主要作用：对被镀工件表面的辉光放电清洗、镀膜前的离子轰击、镀膜时的离子加速等。合理选用偏压电源可以有效地抑制工件表面打火，明显提高镀件的成品率、表面光洁度和膜基结合力。DHEP系列偏压电源是传统直流偏压电源的更新换代产品。

主要特点

1．采用先进的开关电源技术，具有体积小、效率高、运行稳定、噪声低、对电网干扰小等优点。DHEP系列偏压电源在节能和镀膜工艺的稳定性上显示出明显的优势。

2．具备自动稳压功能，可在电网电压和负载波动情况下，保证电源高效、稳定地工作，充分保证镀膜工艺的重复性。

3．针对实际工作时存在的频繁打火现象，设计了多重实用保护措施。DHEP系列电源能在频繁打火时充分保护电源及生产工件不被损坏，并且能连续稳定工作。

4.可选择近地手动控制、远端手动控制、模拟量控制接口和数字控制接口

主要技术参数

1. 输入电压： AC380V/220VAC 50Hz

2. 工作效率：≥90%

3．输出电压：0-10KV 连续可调

4．输出电流：0-1A连续可调

5．输出纹波：≤0.1%）

6．控制精度：≤1%

7. 控制模式：恒流/恒压/恒功率 可选

8. 外部接口: PLC模拟信号/RS485 可选

9．绝缘电阻：≥200MΩ

10．绝缘耐压：≥1500V/1分钟

11. 环境温度：0~50℃

12、保护方式：具有过压、过流、缺相、过载等保护功能。告警功能：具有电流告警、短路告警功能。

(可根据客户需求定做)

直流镀膜电源 偏压电源