2、氮化硅陶瓷材料
其特点是：
①多晶材料，晶体结构属六方晶系。
②氮化硅陶瓷外观呈灰白、蓝灰、灰黑色。
③理论密度：3.19±0.1g/cm3，密度低。
④高硬度，良好的耐磨性，低磨擦系数(自配磨0.02~0.07)，自润滑性好。
⑤耐高温，抗热震性较好。
⑥具有较高的断裂韧性，抗冲击性能较好。
⑦耐腐蚀性好，能耐所有酸(除氢氟酸以外)腐蚀，能抗弱碱腐蚀，对大多数强碱和熔盐不稳定。
⑧与轴承钢相近的接触疲劳寿命，相似的疲劳剥落形式。
⑨氮化硅粉末性能：
粒度0.5~0.8μm，低的杂质含量和氧含量＜2wt%，α相含量＞90wt%。
⑩氮化硅粉末制造方法：
A、硅粉直接氮化法3Si+2N2→Si3N4
国内普遍采用的方法，需经球磨得到细粉，易引入杂质。
B、硅亚胺分解法SiCl4+6NH3→Si(NH)2+4NH4Cl
3Si(NH)2→Si3N4+N2+3H2
粉末纯度高，细度细且均匀，制造成本高。
C、碳热还原氮化法3SiO2+2N2+6C→Si3N4+6CO
D、化学气相沉积法3SiCl4+4NH3→Si3N4+12HCl
需激化诱导，粉末纯度高，细度细且均匀，制造成本极高。
(11)致密氮化硅陶瓷制造方法：
A、热压氮化硅(HP SN)
方法：氮化硅混合粉末在石墨模具中，同时加热和但轴向加压，烧结温度1650~1850℃，压力15~30MPa，保温时间1~4h。特点：致密，基本达到理论密度(99~100%)，制品形状简单，难于批量化生产，可制造滚子毛坯，成品价格昂贵。
B、常压烧结氮化硅(S SN)
方法：氮化硅混合粉末经模压或冷等静压成形，用烧结炉在N2气氛中烧结，温度1700~1800℃，时间几小时，压力0.1MPa(1atm)。
特点：成本低，易于批量生产，相对密度95~99%，孔隙较多，不适宜制造轴承球。
C、气氛压力烧结氮化硅(GSP SN)
方法：氮化硅混合粉末经冷等静压成形，用气氛压力烧结炉在高压N2气氛中烧结，烧结温度1800℃，时间数小时，压力5~10MPa。
特点：性能好，致密(相对密度97~99%)，易于批量生产，国内普遍采用，可制造轴承球，成本较高。
D、热等静压烧结氮化硅(HIP SN)
方法：氮化硅混合粉经模压或冷等静压成形，S或GPS烧结后，用热等静压炉，Ar2或N2气做压力传递介质，在高温(1700~1999℃)高压(150~200MPa)下使氮化硅致密，使原已烧结过的RBSN、SSN、SRBSN进一步排除气孔。添加剂含量低。
特点：性能优异，基本完全致密(99~100%)，可批量生产，可制造高性能陶瓷轴承球，国外普遍采用，成本高。
(12)小结
陶瓷轴承滚动子：HP SN HIP SN
陶瓷轴承球：GPS SN HIP SN
一般用途的陶瓷球：S SN SRB SN
3、氧化锆陶瓷材料
其特点是：
①晶体结构：部分稳定氧化锆(PSZ)，立方相(cub)结构+单斜相(mono)结构。
②较高的韧性(所有陶瓷材料中最高的)，抗弯强度可达1300MPa，但断裂韧性对温度敏感，高温应用时应注意。
③常用的氧化锆陶瓷为Mg-PSZ。
④高硬度，耐磨损，不易划伤对偶件。
⑤耐腐蚀，对多数酸碱稳定。
⑥接触疲劳寿命与轴承相差较大，不适宜制造高速重载陶瓷轴承。
⑦可制造轻载中低速腐蚀场合的陶瓷轴承。
⑧氧化锆粉末制造方法：
锆英石(ZrSiO4)砂与焦碳和氯气在800~1200℃发生氯化反应生成气相ZrCl4和SiCl4
