在清洗作业完成后，经常需要对被清洗表面的洁净度进行评价。一般利用表面的各种性质作为评价的依据，但目前没有一种评价方法是万能的，只能根据具体需要选定最合适的评价方法，清洗现场清洁度的测定方法有：
一 定量测定方法
1 重量法对形状复杂但可用天平称量的小型物体的总体洁净度的一种有效评价方法。
取一定数量样品，对其清洗前的质量m1，清洗后的质量m2和清洗后再用其它方法进行彻底去污后的质量m3进行准确称量则对于单个样品
污垢附着量=m1-m3
清洗污垢量=m1-m2
残留污垢量=m2-m3
污垢去除率=（m1-m2）/（m1-m3）*100%
所求出样品的污垢去除率及单位面积的污垢残留是平均值，据此即可判断出物体总体的洁净程度。
2 吸光光度法利用紫外线分光光度计测量残留污垢的方法，把清洗后的物体放在对污垢有强去除作用的清洗剂中，把清洗剂中溶解的污垢数量用紫外线吸收法进行测定。这种方法准确度高，可用于测定残留量小于0.01ug/cm2的物体。
3 接触角法把水滴球面与物体接触点所作的球面切线与物体表面形成的夹角叫接触角，接触角的大小与物体表面的材料有关。并随着表面光洁度和物质性质而发生改变。接触角越小表明其受亲油性污垢污染越轻，表面洁净度越高。接触角法只适合于测定平滑表面的洁净度，对粗糙表面的物体不适用。
4 残留离子浓度法用纯净的乙醇—水清洗液（通过离子交换法等纯化处理后，其电阻值在21uΩ以上）对洗净后的半导体材料进行浸泡处理，然后测定洗液的电导率，溶出的金属离子越多，溶液的电导率越大。离子浓度与电导率之间存在正比关系，用这种方法可判定清洗的洁净度。
二定性评价方法
1 擦拭法用干燥洁净不起毛的布（如纱布）对物体表面擦拭，根据布脏的程度判定表面洁净度。本法简便但不精确。
2 水滴法是接触角评价洁净度的一种应用。在一定的条件下，滴在表面上的水滴（一定体积）的直径越大，接触角越小，洁净度越高。即把表面上形成的水滴直径大小和形状，作为比较洁净度的依据。
3 水膜法把清洗后的物体浸泡在水里，使物体表面与水面成垂直，向上拉，离开水面后如物体表面形成的水膜能均匀的占满全部表面，则说明洁净度高，如表面有形不成水膜的，则说明那里不够洁净。
4 水雾法用喷雾器把均匀的微粒状的水滴喷射到清洗后的干燥表面上，通过形成水滴的情况判断洁净度，当表面十分洁净时，微粒状水滴会在表面上均匀的润湿铺展，而且干燥后凝雾水膜周围形状呈规则的圆形。
5 呼气法对着干燥的清洗对象表面呼气，水蒸气在表面上冷凝时会形成浑浊的雾斑，表面清洁时产生的雾斑是均匀的，反之则不均匀。当表面十分平滑洁净时，雾斑会在很短时间内消失。
肉眼观察法用放大镜或检测管等仪器观察表面的油脂、铁锈等污垢，这种测定方法速度快，对于颗粒状污垢的效果较好，但对薄膜状污垢的判断准确性较差。
