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洁净室测试准则

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洁净室测试准则



2007年07月25日    

为证明洁净室工作得令人满意,必须证明其满足了下述准则的要求:

1.洁净室的送风量充足,足以稀释或消除室内产生的污染。

2.洁净室内的空气是从洁净区向洁净程度差的区域流动,受污染空气的流动达到最低程度,空气在门口处和室内建筑中的流动方向正确。

3.洁净室的送风不会显著增加室内的污染。

4.室内空气的运动状态可保证密室内没有高浓度聚集区域。

如果洁净室达到了上述这些准则的要求,就可以测量其粒子浓度或微生物浓度(必要时),以确定其达到了规定的洁净室标准。

洁净室的测试:

1.送风量与排风量:如果是紊流洁净室,那么就要测量其送风量与排风量。若为单向流洁净室,则要测量其风速。

2.各区之间的气流控制:为证明各区之间气流运动方向正确,也就是从洁净区向洁净度差的区域流动,必须检测:(1)各区间的压差正确;(2)门口处或墙、地板等处的开口处气流运动方向正确,即从洁净区向洁净程度差的区域流动。

3.过滤器检漏:对高效过滤器及其外框要进行检验,以保证悬浮污染物不会穿过:(1)损坏了的过滤器;(2)过滤器与其外框间的缝隙;(3)过滤器装置的其他部位而侵入室内。

4.隔离检漏:这项测试是为了证明悬浮污染物不穿过建筑材料侵入洁净室。

5.室内气流控制:气流控制测试的类型要依洁净室的气流模式——是紊流还是单向流而定。若洁净室气流为紊流,则必须验明室内没有气流运行不足的区域。若是单向流洁净室,则必须验明整个室内的风速和风向是符合设计要求的。

6.悬浮粒子浓度和微生物浓度:如果上述这些测试满足要求,则最后对粒子浓度和微生物浓度(需要时)进行测量,以便验明其符合洁净室设计的技术条件。

7.其他测试:除了上述这些污染控制方面的测试以外,有时还必须进行下述一项或若干项测试:

● 温度●相对湿度●室内加热与冷却容量●噪声值●光照度●振动值

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