半导体器件设备-硅片清洗甩干机

半导体器件设备-硅片清洗甩干机

型号：CGB-XXXX—XX系列，品牌：华林嘉业—CGB一、 功能： 1. 把工件放入硅片盒中，再放在旋转支架上。 2. 双手按住启动按钮，油缸自动盖上顶盖， 3. 油缸上的感应门锁到位后，显示门锁住。顶盖的喷杆开始喷纯净水，外筒排水，筒内不允许有积水，同时旋转支架开始转动，目前转速为低速(转速一)，且可以人为的设定。(目前工艺：200转/分，2分钟)。清洗的时间可以根据需要调整。 4. 清洗结束，顶部的喷杆停止喷，开始喷加热的氮气，边喷边加热。加热的温度分为高温和低温。加热的时间可以人为设定，油浴炉的温度为110度，最高温度设定可以显示器上修改。(目前工艺：500转/分，6分钟)。加热采用油浴炉加热，加热介质为乙二醇，加热温度控制在120度以下。辅助加热系统热量足够保证顶盖打开时没有水滴下。 5. 烘干后，自动关闭电源，电机停转。油缸自动打开门盖，取出硅片盒，拿出工件检验。 6. 整个洗和甩干的时间控制在8分钟内完成。二 电气系统: 1）采用变频器调速，使速度变换稳定。 2）采用PLC控制使所有的操作可靠，所有的故障都一目了然。 3）程序设计可靠，能够满足上述功能要求，并且有报警提示。有需求此方面设备的朋友，欢迎来电咨询：