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我公司设计制造的SV系列PVD多弧离子镀膜机主要由以下部分组成：

1.真空筒体：采用全不锈钢制造，双层水冷结构

2.抽气机组：采用旋片泵＋罗茨泵＋扩散泵组合的高效率真空机组

3.转架系统：采用不锈钢转架，自转与公转相结合的行星运转方式

4.水冷系统：采用全水套的水冷方式，冷却效率高

5.电源系统：设计先进，性能稳定可靠

6.进气系统：采用优质质量流量计结合自主研发的控制系统，确保进气量稳定准确

7.控制系统：设计结构先进，有手动控制和自动控制两种方式

8.弧离子源：设计独特，高离化率。