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多晶硅企业在还原三氯氢硅过程中会产生大量氯硅烷尾气，改良西门子法每吨多晶硅会有20吨左右的氯硅烷尾气排放。尾气主要以四氯化硅为主，还有少量三氯氢硅、二氯二氢硅等多种硅烷形式，分离和精馏比较困难。可以采用加氢转化三氯氢硅的方式，但投资大、处理量和转化率低、能耗和成本相当高，企业无法承受。目前国内的处理方式主要有两种：一是送给收货人，每吨贴补800至1700元，至于收货人把物料如何处理，大家都心知肚明；再是通入水中水解后用烧碱或生石灰中和排放，受到环保部门限制，运行成本也比较高。目前，技术路线比较成熟、能够规模处理且又比较经济的办法就是通过低温水解或高温水解氯硅烷气体，产生20%以上的盐酸和二氧化硅，盐酸出售或生产氯化钙之类的产品，也可以低温解析盐酸回收氯化氢到系统中合成三氯氢硅再利用。副产二氧化硅通过再加工处理，可以生产水合二氧化硅（白炭黑）、偏硅、层硅、硅酸铝等无机硅产品。我公司在处理氯硅烷废料方面具有丰富的工程和技术经验，可以根据不同企业实际情况设计不同的处理和深加工方案。可以在不排放任何污染物的情况下，通过处理和再加工，产出市场畅销的衍生产品，既解决排放污染问题，又变废为宝增加收益，平衡处理三废费用。