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传统制备超纯水的工艺是采用多级蒸馏法或离子交换法来制取，近年来，随着膜分离技术的快速发展。超滤，微滤，反渗透过滤等工艺在水处理领域得到广泛应用。目前制取超纯水的工艺有反渗透，离子交换及EDI（电去离子）。超纯水被广泛应用于电子、电力，化工，电镀，锅炉及医药等行业。