价格:未填


小型?X量な、ハンディタイプy器です。紫外ランプを搭dした装置をu造F訾枪芾恧工肽康膜诉mしています。紫外ランプのUV照射量(照度?光量)管理にご使用ください。

◆ 特　

? 露光装置の照度と光量の管理が手Xにできる小型?X量のハンディタイプです。

? 紫外照度と光量が手Xにy定できます。

? 受光器は、ご使用されている（ご使用予定の）光源とレジスト等の感度にあわせてＵＶ－２５，３５，４２用をごxkいただきます。ただし子回路（プリント）基板のu造工程でお使いの龊悉摔希眨郑ＳＮ２５，ＵＶ－ＳＮ３５，ＵＶ－ＳＮ４２を、半体、液晶用基板のu造工程でお使いの龊悉摔希眨郑ＳＤ２５，ＵＶ－ＳＤ３５，ＵＶ－ＳＤ４２をごxkされるように推Xします

? y定デ`タは、RS-232C通信出力を介して送できます。

? アナログ出力も浃à皮い蓼埂

◆ ＳＤ型とＳＮ型について

　ＳＮ型は古くから当社uの露光装置や照射装置等をお使いいただいているお客に冥裼盲丹欷皮い毪猡韦恰プロセス管理の@A性を_保しています。

　ＳＤ型は半体や液晶用基板のu造プロセスのF訾恰すでに他社uの照度をお使いのお客が、それらのy器とのデ`タの互Q性_保を重される龊希ǖ鄙缪uの露光装置でも投影型露光装置や液晶基板用の周x露光装置にはＳＤ型が裼盲丹欷皮い蓼梗─洹⑷く新に照度などをお使いになられるお客に推Xしています。

◆ ＳＤ型とＳＮ型の指示について

　SN型は古くからのプロセスデ`タの互Q性を_保するようにSD型の指示（当社yグル`プで校正用の放射源として使用している高R水yランプの365nmのxを同一のy定条件でy定したrに示される照度の： mＷ/ｃｍ２　表示）にして３９％高く表示するように{整されています。

◆ 他社u照度とのデ`タ互Q性について

　可光用の照度（家庭?事账?店n?美g^などの明るさをＬＵＸg位でyる照度）と`い、紫外用の照度の全てにm用される格は未だ整えられていません（ごく一部の限定された用途でＪＩＳ化の作Iは行われているようです）。

　各社の相分光感度は、同じ水y灯の３６５nmのxを主体とした光源による照度をy定する目的で作られていても、y定のピ`ク波L（相分光感度特性が１で示されている波L）を初めとして、短波L龋ǎ常埃nm～３１０nm前後）とL波L龋ǎ常福nm～４００nm前後）の立ち上り、立ち下ろしの波Lとその前後の曲が少しずつなっています。

　またＣＯＳθ特性と言われている受光器の持つ受光角特性も理想曲に近づけようと、O面で努力されていますが、中々gFされていないのがFgです。

◆ 仕　

受光器（交Q式） UV-SD35(UV-SN35)

y定波LI域 310～385nm

y定照度 0.001～50mW/cm2

y定光量 0.001～19999mJ/cm2

合わせzみ精度 当社UV势鳏して±1.5％以内

Rり返し精度 ±1.5％以内