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特性：

 采用高刚度铝合金机座和防尘用不锈钢机罩

 高洁净度（Clean Class10）

 长行程（Max10000mm）

 内置除尘气管

 结构紧凑，具有符合人体工学的外观

 应用于半导体、LCD生产线及其他需要防尘的领域