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旋涂仪(Spin Coater),有许多别名:胶机,旋涂仪,旋转涂敷仪,有旋涂仪、涂层机、旋转涂布机、旋转涂膜仪等,其旋涂仪工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
旋涂仪适用于半导体、化工材料、硅片、晶圆片、光学玻璃、化学玻璃等表面涂覆材质,美国Laurell高精度的旋涂仪旋涂仪主要应用科研院所进行科学研究,课题公关所用。
旋涂仪特色:
◆ 科研制备理想的旋涂仪旋涂仪;
◆ 旋涂仪由NPP或Teflon材质构造;
◆ 旋涂仪分为150毫米,200毫米和300毫米三种腔体大小;
◆ 旋涂仪可选择台式,立式和特殊环境内置式不同外形;
◆ 旋涂仪的最大转速可达10000RPM;
◆ 易编程的数码控制器(400/500型控制器);
◆ 可升级成为自动滴胶型旋涂仪;
旋涂仪超准的速度控制:
我们的台式旋涂仪机数码速度控制器采用的是一个高计数位的光学编码器输入至伺服马达控制器,其设置点精度小于0.006%(遵照美国NIST激光测量标准),无需校准;
旋涂仪内包含20个51步程序段或者手动模式,非常方便设定速度和加速度程序段, 1~10000RPM的稳定转速可以随意设定!
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旋涂仪
日期:2012-06-02 18:15 点击:320
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