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本公司研发生产的-145℃深冷水汽冷冻机,采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、进口名牌压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产,替代液氮,节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点,其性能指标在处于领先地位,达到甚至超过国际先进水平。比进口POLYCOLD节能20%,比国内同类产品节能40%以上。
应用原理:
在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,但其抽除残余气体的能力低,时间长,而且所残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响,超低温捕集泵则是解决问题的上佳选择。
水汽捕集泵的工作原理:将一个能到-130℃以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60%―90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8Torr、10-5Pa)。
实际应用:
主要适用于物理(化学)气相沉积镀膜、真空蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、离子镀膜等真空镀膜设备,光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统。可以在真空室内抽吸水汽,也可以用于冷阱等冷却装置防止扩散泵返油。
1、水汽捕集器:
它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置,使盘管每次开门之前恢复到常温,避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜,影响下次抽真空。
2、低温冷阱:
放在油扩散泵的泵口,高阀以下,它主要功能是防止油扩散泵返油,同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态,无需除霜装置。
根据需要,二者可以分别安装或者同时安装。
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日期:2012-06-14 09:48 点击:148
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