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测量参数：Ra、Rz、Rq、Rt

取样长度：0.25mm，0.8mm，2.5mm三挡可选

评定长度中含有5个取样长度(5L)

测量范围Ra：0.025-12.5(µm)

量程范围：160μm

触针角度：90°

导头纵向半径：45mm

针尖材料：金刚石

针尖半径：5μm±1μm

触针测力：4mN(0.4gf)

最大驱动行程：18mm/0.71inch

驱动速度

测量时： 当取样长度= 0.25mm　　Vt=0.135mm/s

　　　　 当取样长度= 0.8mm　　 Vt=0.5mm/s

　　　　 当取样长度= 2.5mm　　 Vt=1mm/s

返回时： V=1mm/s

示值误差不大于±10%

示值变动性不大于6%

15 测量范围 分辨力

±20μm 0.01μm

±40μm 0.02μm

±80μm 0.04μm