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洁净棚：采用工业铝材（或不锈钢方通、铁方通喷塑）作为框架，风机滤网机组（FFU）送风，四周悬挂防静电垂帘（或钢化玻璃），其内部净化级别可达到100-10000级。适用于操作区内局部净化级别要求高的区域。

特点

1、 组装式结构设计，安装方便，交货周期短。

2、 移动方便（可选用万向轮）。

3、 模块化结构，容易提高净化级别，扩展性强，且重复利用价值高。

4、 相对超净工作台内部有效空间大；相对传统无尘室，具有成本低、施工快、且对楼层高度要求低的优势。

规格及型号

洁净度 洁净区域尺寸（feet） 所用FFU数目 风量 （立方米/小时）

10/100级 4×4×7 2 2300

4×8×7 4 4600

6×8×7 6 6900

6×12×7 9 10350

6×16×7 12 13800

10/100级 6×20×7 15 17250

8×8×7 8 9200

8×10×7 10 11500

8×12×7 12 13800

8×16×7 16 18400

8×20×7 20 23000

10×12×7 15 17250

12×12×7 18 20700

1000级 6×12×7 2 2300

6×16×7 2 2300

6×20×7 3 3450

8×8×7 2 2300

8×10×7 2 2300

8×12×7 4 4600

8×16×7 4 4600

8×20×7 4 4600

10×12×7 5 5750

12×20×7 6 6900

10000级 6×12×7 1 1150