价格:未填
半导体、硅片清洗机：

●人机界面，PLC控制，清洗设置随心所欲

●进口伺服驱动机构及机械手臂，清洗过程无需人工操作

●可增设鼓气清洗、抛动机构等清洗工艺，缩短清洗周期

●高性能发生器和二代发生器结合技术，清洗效果更佳