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 如果酸雾进入到系统设备中，如电磁阀，连接接头，测量池等，都会造成这些部件的腐蚀，SO3的存在使得接头、电磁阀都被腐蚀，造成气路管路漏气、分析仪测量池被严重污染、部件损坏等，增加了的维护量及沉重维护成本，这也是CEMS设备系统一直苦恼的问题。