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单向流洁净室

有流线平行，流速均匀，方向单一的气流流过房间工作区整个截面的洁净室。气流垂直于地面的为垂直单向流清洁室，气流平行于地面的为平行单向流清洁室。

乱流洁净室

由流线不平行，流速不均匀，方向不单一而且时有交叉回旋的气流流过房间工作区整个截面的洁净室

洁净度100级

大于等于0.5μm的尘粒数大于350个/m3(0.35个/1)到小于等于3.5×103个（3.5个/1）

洁净度1000级

大于等于0.5μm的尘粒数大于3500个/m3(3.5个/1)到小于等于35×103个（35个/1）

洁净度10000级

大于等于0.5μm的尘粒数大于35×103个/m3(35个/1)到小于等于350×103个（350个/1）

洁净度100000级

联系人：蔡晓蓉

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