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设备由主机架、进气系统、加热系统、水淋系统、排水系统、控制系统几大部分组成，主要用于尾气处理。采用了特殊设计控制尾气能顺利反应并形成N2保护膜，避免内壁颗粒的沉积和酸碱气体的腐蚀。反应室温度控制在800℃，设有独立温度检测报警功能，反应室超出工艺温度50℃停止加热体工作并报警，低与工艺温度50℃设备指示报警，确保反应室在工艺区稳定工作。反应后混合气体经三级水淋溶解排入水箱，水箱设有三级液位传感器保护，可以实现水箱自动排液和超液位保护。尾气排风有监测仪表，监控排风。