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Order 519-321 513-322 519-326 519-327 有效 Range ± 0.5 mm ± 0.5 mm ± 0.5 mm ± 0.5 mm 最大行程 Max Range ± 0.6 mm ± 0.6 mm ± 0.6 mm ± 0.65 mm 性度 Linearity 0.5 % 0.5 % ± 0.3 % ± 0.5 % 接|c Contact Point ψ2mm u接^ ψ2mm u接^ ψ2mm u接^ ψ2mm碳化物接^ 量y力 Measuring Force < 0.2 N < 0.02 N < 0.15 N < 0.15