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潘宁规（真空计）

成都道和电工研究所研发的真空潘宁规提供了可靠的高真空测量。无高真空灯丝。由于等离子点火的钛阴极板和高电压降低，潘宁规也可以应用在阴极溅射镀膜工艺上。



特点：



>测量范围广：5 X 10 -7～1 Pa



>全金属冷阴极陶瓷传感器



>新型几何电极提供了极好的点火性能



>降低等离子点火高电压和钛阴极板污染的危险，即使在氩溅射过程中也一样



>阳极环和钛阴极可清洗，更换容易



>最小磁场强度测量



>LED指示灯电源和等离子点火



>对数模拟输出信号



>Fieldbus总线接口,集成到真空系统的网络通信