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洁净棚也称为无尘工作站，它是为最快速方便建立的一座简易洁净室，其具备多种洁净等级及空间搭配可以依据使用需求设计制作，因此其简便运用弹性大安装容易且施工期短以及迁移性佳为其主要特点，同时在运用上其亦可针对在一般等级的洁净室中局部地区需求高洁净度的地方做局部增设以降低成本。洁净室目前已是半导体工业和生物化学、医药、食品界等不可缺之重要设施，也日益精密，相对于洁净室的等级要求也越来越高，而洁净室的建造成本也水涨船高，为降低洁净室的结构成本台旭净化乃提供新的洁净室设计观念，迷你洁净单元(MINI-ENVIRONMEN ENCLOSURE)采取模块化之整合设计概念，此架构类似SMIF型式，有各种独立的洁净区，唯区别在于其传送方式非以连接臂进行而是以人员在密闭的洁净室外进行操作，有独立的

空调和回风系统，此型式优点在于弹性隔间容易、建造成本低，使人与设备、产品有效隔离，如此做法可使人为的干扰及污染降至最低程度，并直接可提升产品良率。

洁净棚是一种投资少而净化级别高，移动比较方便的简易净化装置。将洁净层流罩FFU放置在由专业净化铝型材组装而成的框架上。顶部由不锈钢板或防静电帘铺盖，密缝严密，四周用防静电帘/防静电有机玻璃围缝使棚区内洁净度达到100-10000级。

主要特点：

◎ 1、模块化、组装式结构设计，施工简便可大大缩短现场施工时间；

◎ 2、成本低，移动方便。

◎ 3，适用于建局部洁净区域洁净度的提高。

Json Zhou *周捷先生*

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